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关于方向论文范文资料 与多晶硅生产技术方向有关论文参考文献

版权:原创标记原创 主题:方向范文 科目:职称论文 2024-03-09

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【摘 要】多晶硅是单晶硅中最重要的形式之一.由于它的半导体特性,它已被广泛应用于微电子工业和光伏产业.随着光伏产业的快速发展和太阳能电池对多晶硅需求的快速增长,世界各国都在竞相开发低成本、低能耗的太阳能级多晶硅的新技术和技术,并倾向于制备低纯度的太阳能级多晶硅工艺和制造.采用高纯度电子级多晶硅技术,进一步降低了成本.

【关键词】多晶硅;生产技术;发展方向

一、多晶硅的生产工艺

目前多晶硅的生产技术主要包括:改良西门子法、物理冶金法和硅烷法.改良西门子法能耗较高在80-200kWh/kg,纯度可以达到电子级多晶硅标准9N-12N;物理冶金法虽然能耗较低为30-50kWh/kg,但是纯度只能做到5N-6N,而且生产出的多晶硅存在纯度不均匀,产出的电池存在转换效率衰减等问题;硅烷法可以生产12N以上的电子级多晶硅,但是硅烷属于易燃易爆物质,存在一定的安全隐患.改良西门子法因技术相对成熟,可以相对较低的成本生产出高纯度的多晶硅,是目前多晶硅生产的主流技术,占全球多晶硅产能的80%,在中国的多晶硅产能中份额超过90%.

二、多晶硅生产三种技术方法

(一)改良西门子法

基于西门子法工艺,经过加大还原尾气干法回收系统和四氢氯化硅氧化工艺.实现闭路循环,则构成改良西门子法,即闭环式三氯氢硅还原法.该方法主要有三氯硅烷合成、三氯硅烷蒸馏提纯、三氯硅烷还原、尾气回收、四氯化硅的氢化分离.

(二)硅烷流化床法

流化床工艺是美国联合碳公司在早期制备的多晶硅技术.该方法采用四氯化硅、氢气、氯化氢以及工业硅作为原料,在高温高压流化床(沸腾床)中生成三氯氢硅,然后再将三氯氢硅再深一步生成二氯二氢硅,然后生成硅烷气体.将硅烷气添加到流化床反应器中,用小颗粒硅粉进行连续热分解反映,形成粒状多晶硅产品.由于流化床反应器中硅的表面积较大,因此该方法生产效率高,功耗低,成本低.然而,工艺和设备的安全性很高,关键设备的材料也很高.否则,产品的纯度将受到严重影响.该方法适用于低成本的太阳能多晶硅的大规模生产.

(三)气液沉积技术

在初期,日本研制并掌握了气液沉积法.在一个管状反应器中,液态硅是由1500摄氏度的高温气体直接产生的,因为它的反应温度更高,而与现有的改进的西门子方法相比,它有更快的沉降速度.主要的工艺是通过氯气和二氧化硅的反应,通过氯气和二氧化硅的反应生成四氯化硅.四氯化硅分离和萃取后,在气液沉积反应器中产生多晶硅液滴.工业硅不再是工艺的起始原料,它的原材料是二氧化硅.从工艺入手,将二氧化硅熔炼成工业硅粉,可以有效地节省硅粉,使整个多晶硅工艺大大降低.四氯化硅的纯化效果会更好,纯度高.这不仅能有效降低多晶硅的生产成本,而且能生产出更高纯度的多晶硅.因此,在未来的生产中,需要进一步开发和整合该技术,关键是气液沉积和四氯化硅技术的研究与开发.在三种多晶硅制备方法中,改进的西门子法和硅烷法占总市场的99%,而汽液沉积法只占市场的1%,其中绝大多数处于实验状态.

三、改良西门子法与硅烷流化床法比较

(一)工艺技术方案比较

用于批量多晶硅生产的改进的西门子方法具有以下优点:由于改进的西门子方法,使用多棒和大直径还原炉能够有效地降低还原炉消耗的电能,改进的西门子方法能够有效地回收还原尾气并降低材料消耗.由于改进的西门子方法是一个封闭的电路系统,多晶硅生产中的各种材料都得到了充分的利用,废料很少.与传统的西门子法律相比,污染已经得到控制,环境得到了保护.硅烷流化床工艺生产的粒状多晶硅具有生产快、效率高、成本低的特点;生产过程节能,耗电量小;连续不间断生产;闭路生产和三废排放;产品方案可根据市场情况进行调整,其中间产品三氯硅烷和硅烷可以作为产品销售.

(二)产品在下游光伏产线的应用

在多晶硅下游的晶体生长过程中,使用大块硅可以保证晶体的质量,为后续电池的转换效率提供良好的基础.但是,有一些潜在的风险因素,如负荷能力较低和二次进料不方便,对生产效率、生产率和生产都有很大影响.如果使用颗粒硅,加载时间的可以提高生产效率,但由于颗粒小于散装硅,硅和吸尘链接的质量更轻的水晶,可以将原料颗粒飞溅造成的颗粒硅,这可能会导致生产不安全、不稳定过程.目前颗粒多晶硅纯度低,杂质含量高.使用粒状硅不能保证产品的质量.为了增加材料的用量,提高生产效率,降低生产成本,可将粒状多晶硅添加到块状材料中,以弥补大块硅材料之间的间隙,最大限度地增加载荷,节省成本.通过坩埚负荷试验,与100%西门子散装材料相比,50%的西门子散装和50%粒状多晶硅混合料可使初始坩埚重量增加29.3%,使加载时间减少41%,效益显著.

四、结语

综上所述,随着我国工业发展水平的提高,对多晶硅材料的需求也在不断增加.然而,由于生产过程的复杂性,很难简单地按照传统工艺完成生产.因此,本文分析和改进的西门子法、硅烷流化床技术和气液沉积技术三种重要的技术方法.结果表明,改进后的西门子法和硅烷流化床法在工艺上是相同的,在下游光伏生产线上相互依赖.因此,这两种多晶硅制备工艺不能在短时间内被取代,并将共同发展.

参考文献

[1]赵建,詹水华,王,盛斌.多晶硅生产技术发展方向探讨[J].广州化工,2014,42(15):17~20,38.

[2]王,赵建,詹水华,盛斌.多晶硅生产技术发展方向探讨[J].化工进展,2014,33(11):2928~2935.

[3]薛濤.多晶硅生产技术发展方向分析[J].化工管理,2015(25):105.

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